(횁횜)쩍쨘횇짤쨍째쩔징횑횆징쨉챨횆횣쨍짰쩐횈쩔징 쩔쩍횇 째횒쨩 횊짱쩔쨉횉횛쨈횕쨈횢.
(二)뒪겕由곗뿉씠移섎뵒肄붾━븘뿉 삤떊 寃껋쓣 솚쁺빀땲떎.
> FPD제조장비 > 제품일람 > 검사/평가/측정 장비 > DR-8000
정밀 자동 선폭 측정 장치 DR-8000
 
선폭 측정 반복 정밀도 10nm (3σ) 실현
 
액정등의 Flat Panel Display 의 Photo Mask의 제조에는 Panel의 고정밀화와 대형화에 의한 미세한 Pattern를 측정 하는 고정밀도 측정 장치의 요구가 높아지고 있음. 동시에 Flat Panel Display 의 제조에 있어서도 수율 향상 위해서 고정밀한 측정 장치에 의한 Process 관리가 현재보다 중요하게 여겨지고 있음.
DR-8000은 이 업계의 Needs에 대응 액정 Panel, Color Filter , Print 배선판등의 각종 Photo Mask 의 선폭, 액정 Panel, Color Filter 등의 Resist Pattern의 선폭을 고정밀하게 측정하는 대형 Size 기판 대응의 정밀 자동 선폭 측정 장치임. 큰 납입 실적을 자랑하는 자동 정밀 측정기 DR-5500의 기술을 발전 시켜 고해상도의 광학계의 채용과 독자의 고정밀도 측정 알고리즘 (True Focus System) 탑재에 의한 선폭 측정 반폭 정밀도 10nm(3σ)의 경이 초고정밀도측정의 실현 하지만 측정 범위는 1,600×1,800mm의 대형 Size 기판에 대응 가능함.
점점 미세화가 진행하는 Flat Panel Display 의 Panel 과 Photo Mask의 Fine Pattern 를 고정밀도로 측정, 수율 향상에 위력 발휘
 
특징  
 
1. 고해상도의 광학계의 채용과 독자의 고정밀도 측정 알고리즘 탑재에 의한 선폭 측정 반복 정밀도 10nm(3σ) 실현. 점점 미세화가 진행 되는 TFT 액정 Panel 등의 Photo Mask Fine Pattern을 고정밀도로 측정 함
2. 측정 광학계에는 80만 면소 Progressive CCD Camera 와 고해상도의 Lens 를 사용 투과, 반사에의 측정이 가능. 또, 대물 렌즈의 배율 교체 방식으로 고객의 Needs에 부합 되도록 Flexible 대응 가능
3. 본체 Flame 에는 신뢰성 높은 Black Granite 정반 채용. 고강성화 와 안정성을 향상 시켰음.
또, Clean 대책으로 Chamber 상부에 Clean Filter를 장착해 장치내에 Clean 상태에 유지함.
4. 측정 범위는 최대 1,600×1,800mm와 큰 Size화가 진행하는 Flat Panel Display에 대응 하고 있음.
또, Indexer, 자동 반송 Robot와의 Inline화에도 대응 가능
(주)스크린에이치디코리아에 오신 것을 환영합니다.